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新博2平台应用材料公司申请具有阻抗匹配射频(RF)杆的加热基座专利提供用于处理腔

发布时间:2025-07-29 00:10:52

文章来源:新博2科技

  金融界2025年7月28日消息✿ღ✿ღ,国家知识产权局信息显示✿ღ✿ღ,应用材料公司申请一项名为“具有阻抗匹配射频(RF)杆的加热基座”的专利生稻晃子生稻晃子生稻晃子✿ღ✿ღ,公开号CN120380571A✿ღ✿ღ,申请日期为2023年12月✿ღ✿ღ。

  专利摘要显示生稻晃子✿ღ✿ღ,本文提供了用于处理腔室的基板支撑件的实施例生稻晃子✿ღ✿ღ。在一些实施例中新博2平台新博2平台✿ღ✿ღ,用于处理腔室的基板支撑件包括✿ღ✿ღ:基座✿ღ✿ღ,其具有用于支撑基板的支撑表面新博2平台✿ღ✿ღ、安置在其中的一个或多个加热元件和安置在其中的射频(RF)电极✿ღ✿ღ;中空轴✿ღ✿ღ,其耦接到基座下表面✿ღ✿ღ;和射频杆✿ღ✿ღ,其延伸穿过中空轴并耦接到射频电极生稻晃子新博2平台✿ღ✿ღ,其中射频杆的阻抗小于约0.2欧姆新博2平台✿ღ✿ღ。新博2登入地址NB88新博APP✿ღ✿ღ,NB88新博APP下载中心✿ღ✿ღ,新博2开户✿ღ✿ღ,重型机械✿ღ✿ღ,nb88新博app登录✿ღ✿ღ,